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普瑞GC-9280型氣相色譜儀配置脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)分析六氟化鎢WF6中雜質(zhì)的方法。該法利用閥切割技術(shù)對WF6主組分進(jìn)行反吹,避免其進(jìn)入分析柱及檢測器,可準(zhǔn)確分析出其中雜質(zhì)的含量。
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